盛美上海获282家机构调研：随公司不断对槽式设备做研发投入现阶段公司槽式设备基本实现全工艺覆盖包括清洗、去胶以及一些更先进的3D封装方面的（附调研问答）

　　盛美上海9月12日发布投资者关系活动记录表，公司于2023年8月31日接受282家机构调查与研究，机构类型为QFII、保险公司、其他、基金公司、海外机构、证券公司、阳光私募机构。 投资者关系活动主要内容介绍： 公司领导对2023年半年度业绩和财务情况做了简单介绍，并就投资者关心的问题进行了回答。 l问答环节

　　问：先进封装今年上半年是否有国内及海外新客户的扩展？此外先进封装电镀设备上半年是否有新的国外客户拓展？海外市场未来的发展如何？

　　答：公司在先进封装领域拥有较为完整的产品线，从电镀设备到涂胶、显影、湿法刻蚀、湿法去胶、金属剥离、无应力抛光先进封装平坦化以及清理洗涤设施都有，今年上半年封装及后道设备加起来增长约47%。镀铜设备增长也较快，主要是公司不仅是做国内镀铜设备的龙头，还要把国内差异化的设备包括前道、后道设备等都推向国际市场。 目前公司在海外市场拓展确实取得不错的进展。除了清理洗涤设施外，镀铜设备也在全力推向国际市场，尤其是现在国际市场在GPT、AI方面的加快速度进行发展，需要大量的先进封装设备，所以未来公司在全球市场上发展前景是比较好的。此外，另一个好的趋势是国内有突出贡献的公司也开始采用前道电镀设备，比如TSV电镀、大马士革电镀，公司也拿到不少订单。由此能够看出，国内龙头企业也在向更先进的封装技术进行探索，这也为公司的电镀设备带来非常大的成长空间。

　　问：公司ALD产品新开发情况如何？现有ALD产品在逻辑电路、存储等的验证更新情况是怎样的？

　　答：ALD确实是未来技术发展的一个趋势，特别是公司更看重炉管ALD，主要是其产量较大，可以同时做最少50片、100片甚至更多，工艺包含较广。但是其难度也比较高，主要在于均匀、化学载体的控制比较难。ALD在存储、先进制程等都有大量的使用，目前公司已有两款产品相继进入客户端验证。 未来，公司将通过差异化的技术产品展开市场之间的竞争，例如炉管方面，公司有特别的炉管设计，从均匀性、颗粒性以及使用效率等方面改进ALD。公司ALD产品在不断拓展国内市场的同时，也很看重国际市场，希望将公司差异化的炉管ALD技术导入给国外客户，所以公司是国内外两边都在进行。

　　问：去年三季度公司公布多个方面数据显示订单同比增长100%以上，请问公司是每年上半年发货速度较慢，下半年发货量更集中吗？公司交付方面有具体的节奏吗？

　　答：公司的发货节奏受到多方面因素的影响，包括市场扩展影响、供应链状况等。总的来看，后半年公司出货量呈现上扬的趋势。从供应链上考虑，零部件供应较去年有所改善，但仍有部分零部件存在紧缺。所以下半年主要看供应链的管理和继续开拓市场的进度。

　　问：二季度公司清理洗涤设施增量较为显著，包括单片、槽式和公司之前推出的一些有特色的设备。从产品结构上来看，主要是哪个类型带来的增量？

　　答：三年以前，公司清理洗涤设施大多分布在于单片设备。近年来，随公司不断对槽式设备做研发投入，现阶段公司槽式设备基本实现全工艺覆盖，包括清洗、去胶以及一些更先进的3D封装方面的槽式设备，公司认为未来槽式设备在国内成熟制程的扩张方面存在巨大潜力。因此，公司第二季度清理洗涤设施的增长很大一部分来源于槽式设备的增加。未来，公司还是会保持双向发展，在单片设备扩张的同时发展超临界CO2干燥清洗。这项技术目前全世界仅三家企业具有，并且企业具有独立的IP以及独特的技术能节省40%的CO2使用量，未来公司会把这个设备推向国内和国际市场，特别是CO2干燥和公司兆声波清理洗涤设施结合在一起，能够更好的起到小结构清洗不破坏，同时又能干燥，应用前景很广阔。

　　问：请问如果未来几年国内都以成熟制程为主，这会对公司清理洗涤设施的收入结构占比带来怎样的影响？公司二季度收入结构的占比情况如何？

　　答：国内的成熟制程大致上可以分为两块，28纳米以下和45纳米以上。28纳米以下80%是单片清洗，45纳米以上80%是槽式清洗，所以即使在成熟制程下，单片清洗和槽式清理洗涤设施都会有很大的发展前途。未来，公司清理洗涤设施的结构分配仍是单片设备和槽式设备并进地增长。

　　问：请问公司电镀设备的出货量或者收入确认主要会放在下半年吗？其发展节奏如何？

　　答：公司电镀设备目前主要是新客户拓展较多，进行收入确认还需要一段时间，可能在今年下半年四季度或明年确认收入。从出机量来看，一两年前公司电镀设备的出机量主要侧重先进封装设备，从今年开始公司的出机量主要侧重于前道设备的需求量。公司目前不仅是发展成熟制程，先进制程亦有突破，所以明年公司将有非常大的增长。

　　问：公司去年四季度推出的Track设备和PECVD设备在客户端做验证的成效如何？何时会放量？是否有扩展到新的客户？

　　答：Track设备已于去年年底出机，目前进展不错，但由于是第一台设备，验证早期过程中存在部分常规问题，公司团队在积极和客户以及合作厂商共同解决这样一些问题，希望年底这个设备能进入小批量的验证式的生产阶段。公司Track设备的起点较高，未来的目标是达到每小时300片甚至更高的产量。 PECVD设备方面，公司也在和客户端沟通共同研发中得到很多进展，一些基本的问题都已解决完毕。未来公司考虑会有两类客户，一个是逻辑电路、一个是存储，同时公司的PECVD设备有一个特点，与国际一流设备结构不同。所以未来公司在PECVD方面将利用公司的差异化技术来实现用户更高的要求，实现均匀性、颗粒性、薄膜应力以及产出等多方面的平衡，PECVD将成为公司巨大的成长点，公司也会重点将PECVD设备推向市场。从销售角度看，PECVD最少要明年才会为企业来提供销售贡献，如果要达到高销售贡献度需要到2025年或2026年左右。这几个设备的推出让公司有信心在未来3-5年保持快速地增长状态。

　　问：请问先进封装电镀产品相关订单收入确认时间点？何时正式转化为营收？

　　答：公司电镀产品相对较为成熟，老客户通常装机完成就实现验收，新客户较为保守，需要各环节总结后才会完成验收，因此会稍微晚一点。成熟订单确认收入较快，所以有关问题主要根据客户端对设备的接受度。

　　答：毛利率存在季节性波动并和产品的组合有关系，公司总体毛利率根据设备种类不同有高有低，整体加起来还是保持在40%-45%范围内。

　　答：PECVD包含比较广，总的来说比较偏向中高端应用，公司选择从该设备薄膜的均匀性、颗粒性、应力三个点作为关键进行升级实现用户需求，从设备的工艺、产出、大小等方面优化推出公司设备新的架构，并且公司产品要和国际大企业存在差异性才能有超越的可能性，这也是公司追求差异化的原因。

　　问：槽式设备方面，国内能做的公司较多，长久来看公司对槽式毛利率的展望怎么样？

　　答：槽式设备的毛利率较单片设备要低，并且未来毛利率可能会再度下滑，但设备的可靠性、工艺特点才是半导体设备是否能经常使用的关键。由于半导体设备客户端想要获得最优的产出率、工艺正常率等，所以国内的客户不光追求低价更追求设备的长期稳定性、未来技术的开发能力及解决工艺线上问题的能力，因此不能简单的以毛利率或者成本作为考量。

　　答：公司开发的先进封装电镀设备能用于铜、镍、锡银、金的电镀工艺，目前已经拓展到第三代的半导体电镀。这个工艺属于较新的，并且已经在客户端得到部分验证。此外，去年开始有中国台湾的客户在内地的工厂采购了公司的电镀设备，并且也给了重复订单。未来，公司有机会让电镀设备进入中国台湾地区市场，并在韩国、美国等开拓电镀设备市场，将电镀设备推向全球，完成全球化布局。

　　答：是的。公司清理洗涤设施在国内销售增长26%，清理洗涤设施销售还在持续增长，整个清理洗涤设施市场未来仍是公司主要营业业务很关键的一部分。目前，除了槽式设备，公司先进清理洗涤设施比如高温硫酸、超临界CO2干燥等都在推入市场，所以在清理洗涤设施方面，公司未来市场目标在国内希望能达到55%-60%左右市场占比，现阶段公司还处在25%-30%之间。此外，公司不光看重国内清理洗涤设施市场，还聚焦国际市场。

　　问：请问公司研发投入的高峰期是否已过，未来的研发投入占比会相对下降一些吗？

　　答：公司研发投入的绝对金额是一直上升的，相对比例未来会保持在14%-15%之间，这是一个是合理的的研发投入比例。

　　问：公司临港项目目前已经在封顶了，内部的装修等目前做起来了吗？明年能否竣工？

　　答：目前大致上可以分为两部分，生产一厂目前是重点，年前应该会投入试生产。项目会在年底全部建设完成，包括研发实验室、生产二厂等，将陆续投入到正常的使用中。 此外，会有一个研发洁净室在今年完成装修，预计明年一季度投入到正常的使用中，这样公司就拥有一个跟客户端完全同样等级的洁净室，这会使公司的研发条件大大改善。一些新产品、改进技术能在公司验证后再送到客户端，研发的进度会大大增强;

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